cmp抛光液配方？氧化铝抛光粉和氧化铈抛光粉哪个好？铝板抛光镜面最快的方法？cmp抛光液配方？CMP抛光液配方包含氧化铝或氧化硅等磨料粉末，在碱性环境中与氢氧化钠（NaOH）等碱性添加剂、缓冲剂和表面活性剂等混合，形成高分散、低表面张力的纳米颗粒悬浮体系，能够在硅片表面形成均匀的研磨层，达到较高的磨...